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利用光感器件，将检测到的光信号转换成电信号，再将电信号通过模拟/数字（A/D）转换器转化为数字信号，传输到计算机就中。
CCD的中文名称是电荷耦合器件，与一般的半导体集成电路相似，它在一块硅单晶上集成了成千上万个光电三极管，这些光电三极管分成三列，分别被红、绿、蓝色的滤色镜罩住，从而实现彩色扫描。光电三极管在受到光线照射时可产生电流，经放大后输出。采用CCD的扫描仪技术经多年的发展已相当成熟，是市场上主流扫描仪主要采用的感光元件。
由于扫描仪的静电特性灰尘和污物十分容易吸附、堆积，使光学器件、传动器件的功率受到的影响。长期这样内部机械器件会受到磨损，扫描仪会发生扫描响声大、图像错位、图像模糊等问题，因此清洁是扫描仪保养至关重要的步骤。
